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超純水設備

產品概述

半導體、微電子、光伏等行業(yè)隨著產品工藝越來越先進、生產中使用的超純水也是產品合格率的重要組成部分。因此對純水水質要求也越來越高，比如單晶硅、多晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器、5G產品及各種元器件等生產工藝用純水基本上是18.25MΩ﹒cm的水質要求。

產品參數(shù)

產品水質	電阻率＞18MΩ·CM;（以在線儀表監(jiān)測為準；溫度25℃）
產品工藝	多介質過濾器+活性炭過濾器+軟化器+RO反滲透系統(tǒng)+2RO反滲透系統(tǒng)+EDI裝置
控制方式	自動控制

備注：恒松超純水設備系統(tǒng)主要采用多介質過濾器+活性炭過濾器+RO反滲透+2RO反滲透+電去離子（EDI）+拋光混床工藝，有效去除水中各種鹽份及雜質，進一步提升水質，使出水達到用水工藝要求。

產品服務

工藝流程

1. 傳統(tǒng)制水工藝：（預處理+陰陽混床）

CWS-->MMF-->ACF-->KCF-->凈水箱-->混床(復床)-->純水箱-->純水輸送泵-->精密過濾-->用水點

2.極減制水工藝：（預處理+一級反滲透+陰陽混床）

CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->一級RO反滲透系統(tǒng)-->混床(復床)-->純水箱-->純水輸送泵-->精密過濾-->用水點

3.簡配制水工藝：（預處理+一級反滲透+EDI電除鹽系統(tǒng)+拋光混床系統(tǒng)）

CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->一級RO反滲透系統(tǒng)-->EDI電除鹽系統(tǒng)-->純水箱->純水輸送泵-->拋光混床系統(tǒng)-->精密過濾-->用水點

4.正規(guī)制水工藝：（預處理+二級反滲透+EDI電除鹽系統(tǒng)+拋光混床）

CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->1-RO-->2-RO-->EDI-->純水箱->純水輸送泵-->拋光混床系統(tǒng)-->精密過濾-->用水點

5.高品質水制水工藝：（預處理+二級反滲透+EDI電除鹽系統(tǒng)+純水脫氧系統(tǒng)+拋光混床+生物膜過濾）

CWS---> MMF-->ACF-->KCF-->1-RO系統(tǒng)-->2-RO系統(tǒng)-->EDI-->MDG-->TOC-UV-->拋光混床系統(tǒng)-->生物膜過濾系統(tǒng)-->用水點

應用行業(yè)

生物制藥用水方案

醫(yī)療器械用水是醫(yī)療器械行業(yè)必不可少的高凈度衛(wèi)生水，主要用于清洗、配液等生產工藝過程。凈得瑞的水系統(tǒng)在設計時綜合考慮了管理便捷性，對取樣點、數(shù)據(jù)點檢、耗材更換等進行了合理設計，通過管理面板查看系統(tǒng)原理及水質數(shù)據(jù)，實現(xiàn)運行穩(wěn)定和水質安全。

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微電子行業(yè)用水方案

可選擇消毒方式：活性炭巴氏消毒、CIP清洗系統(tǒng)、分配系統(tǒng)臭氧滅菌、分配系統(tǒng)巴氏消毒、分配系統(tǒng)純蒸汽滅菌。備注：凈得瑞水系統(tǒng)根據(jù)用戶需求（URS）定制。

超純水設備使用預處理、反滲透技術、EDI拋光混床以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

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化工行業(yè)用水方案

提供化工行業(yè)生產用水處理整套解決方案

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